创生源自动化依托本公司雄厚的技术力量, 自主研制了AWHL系列在线全自动吸片上料机, 兼容国内外不同品牌的链式清洗主设备。
设备名称: 在线全自动吸片上料机
设备型号:AWHL-T5 、AWHL-T8
设备用途:将堆叠片盒中硅片通过伯努利吸盘自动拾取放入传输轨道,依次流进5道、8道在线清洗主设备.
技术特点:
----可应用于156.75*156.75、160.75*160.75、162*162、166*166硅片..
----可匹配五道、八道清洗设备(链式制绒或刻蚀).
----标配双片检测功能.
----每条轨道4个硅片堆叠承载盒, 自动切换, 换盒不停机.
----加装同步编码器,确保与清洗制绒主设备滚轮速度同步.
----采用PLC控制,吸片过程全自动;触摸屏菜单操作,简洁明了.
----可选提供高精度在线称重功能.
----可选碎片检测功能、几何尺寸检测。
----可选支持MES接口和远程诊断功能
----可选匹配智能工厂AGV接驳口.
----产能:≧6000Pcs/h