高真空气动挡板阀

真空挡板阀有高真空挡板阀和超高真空挡板阀两种。高真空挡板阀用于高真空系统接通或截止气流。适用压力范围：轴封为橡胶时为1.3×10-4～105Pa；轴封为波纹管结构时为1.3×10-5～105Pa。工作介质温度：-25～80℃（密封件为丁腈橡胶）；-30～150℃(密封件为氟橡胶)。阀体材料：碳钢镀镍或不锈钢；阀板密封材料丁腈橡胶或氟橡胶。
超高真空挡板阀用于超高真空系统接通或截止气流。适用压力范围为1.3×10-3～105Pa。阀门开启状态，烘烤温度小于400℃；阀体材料为不锈钢；阀板材料为无氧铜；轴封处密封件材料为不锈钢波纹管。这两种真空挡板阀使用的工作介质为洁净的空气或对阀门无腐蚀的干净气体。不适合用在对金属有强腐蚀性和含有颗粒状态灰尘的气体情况下长期使用。
高真空挡板阀由于具有密封可靠、流导大、安全性好以及可手控、电控、气控等特点，形式多样，规格齐全，公称尺寸DN150～1200，结构合理等，因此，被广泛用于大、中型多种高真空装置的真空系统之中，如用于真空镀膜设备，真空热处理炉、真空钎焊、高真空电子束焊机、离子束刻蚀设备、空间环模设备等。